​ CNC精密零配件加工的特點

     超精密零配件加工方法的特點是對外表層物質去除或添加的（de）量能夠作極細微的控製。但是要獲（huò）得cnc超精密零件加工精度，仍有賴於精密的（de）加工設備和準確的克製係統，並采用超精密掩膜作中介物。例如（rú）超大規模集成電路的製版即使采用電子（zǐ）束對掩膜（mó）上的光（guāng）致抗蝕劑（見光刻）舉行曝射，使（shǐ）光致抗（kàng）蝕劑的原子在（zài）電子撞擊下直接聚合(或分解)，再用顯影劑把聚（jù）合過的或未聚合過的部分溶解掉，製成掩膜。電子束曝射製版必要采用（yòng）工作台定位（wèi）精度高達±0.01微米的超精密加工設備。

    超精密零配件加工，主（zhǔ）要有超精密車削、鏡麵磨削和研（yán）磨等。在（zài）超精密車床上用通過精細研磨的單晶（jīng）金剛石車刀舉行微量車削,切削厚度僅1微米左右，常用於加工有色金屬材料的球麵、非球麵和平麵的反射（shè）鏡等高精度、外表高度光潔的零件。例如加工（gōng）核（hé）聚變裝置用的直徑為800毫米的非球麵反射（shè）鏡，高精度可達0.1微（wēi）米，外表粗糙度（dù）為Rz0.05微米。

     超精密零配件加工精度以（yǐ）納米，甚至後以原子單（dān）位(原子晶格距離為0.1～0.2納米)為（wéi）目標時，超精密零件切削加工方法（fǎ）已不能適應，必要借助特種精密零（líng）配件加（jiā）工的方法，即應用化（huà）學（xué）能、電化學能、熱能或電能等，使這些能量超越原子間的聯合（hé）能，從而去除工件外表的（de）部分原子間的附著、聯合或晶格變形，以達到超精密加工的（de）目的。屬於這類加工的有機械化學拋光、離子濺射和離子注入、電（diàn）子束曝（pù）射、激光束加（jiā）工、金屬蒸鍍和分子束外延等。